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VERIC A6151A碳化硅高溫退火爐
VERIC A6151A碳化硅高溫氧化爐
HORIC D200系列擴(kuò)散/氧化系統(tǒng)
HORIC L200 系列臥式 LPCVD 氣相沉積系統(tǒng)
Scaler HK430熱原子層沉積系統(tǒng)
EPEE系列等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)
eVictor系列8英寸通用物理氣相沉積系統(tǒng)
NMC 508系列CCP介質(zhì)刻蝕機(jī)
GSE C200多功能刻蝕機(jī)
AGF系列電阻式碳化硅長(zhǎng)晶爐
APS系列感應(yīng)式碳化硅長(zhǎng)晶爐
Pallas A220碳化硅快速熱退火系統(tǒng)